洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,10万级净化车间工程,必须满足如下之条件:
(1)不会因温度变化与振动而发生裂痕。
(2)不易产生微尘粒子,且很难附着粒子。
(3)吸湿性小。
(4)为了维持室内之湿度条件,净化车间,热绝缘性要高。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、高效三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于高效过滤器可以滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,净化车间压差标准,对细菌的穿透率为10-6,净化车间二次回风,所以通过高效过滤器的空气,可视为无菌。
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