其地漏所用材质应不易腐蚀,云浮洁净室,内表面光洁,万级洁净室万级洁净室,不易结垢,在构造上应设密封盖,且开启方便,能防止废水废气倒灌,必要时还应能根据产品工艺要求消毒灭菌。
我国设计规范[6]规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(~5Pa),洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH2O(~l0Pa)。
该值似偏低,原因有三:
1.正压是表示洁净室抑制通过门窗缝隙污染室内空气的能力,10万级洁净室 新风量,或在短时间打开门窗时使渗入室内的污染物减少到至低限度的能力,正压大小表示抑制污染能力的强弱,当然不是正压越大越好(后面将谈到)。
2.正压所需的风量有限,5Pa正压与10Pa正压所需风量仅差约1次/h,何乐而不为呢?显然正压值低限取l0Pa更优越些。
3.美国联邦标准(FS209A~B)规定:当所有出入口关闭时,洁净室与任何相邻的低洁净度区域之间的至低正压差为0.05英寸水柱(12.5Pa),这数值已被许多国家采用。
对于一个洁净室来说,以上四个必要条件必须同时得到满足,才能保证洁净度达到要求并具备应有的抗污染干扰能力。