进出风淋室流程机理:
进入:当外门(红外电控锁)被打开时,内门(红外电控锁)自动闭锁。如果用户进入风淋室,经过红外探头,风机将自动工作一定时间,此时内外门均闭锁,风机停止工作以后蜂鸣响,内门开锁,用户出风淋室。开门、关门整个过程结束。
退出:当内门被打开时外门自动闭锁,广州洁净室,用户关门后,则内外门均开锁,30万级洁净室要求,用户可以从任意门出风淋室。开门、关门,整个过程结束。
2)水平单向流
只在首工作区达到100级洁净度,100级洁净室要求,当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高,所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量,万级洁净室换气次数,节约初投资,但局部区域有涡流。
3)乱流型气流
孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;
不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。