一、送风洁净度
要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。
净化系统末级过滤器一般采用高效过滤器或亚高效过滤器。按我国标准规定高效过滤器效率分四档:A类为≥99.9%,B类为≥99.9%,C类为≥99.999%,洁净室净化工程,D类为(对≥0.1μm粒子)≥99.999%(亦称超高效过滤器);亚高效过滤器为(对≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高,过滤器的价格也越贵。所以选择过滤器时应本着既要满足送风洁净度要求,又要考虑经济合理。
从洁净度要求考虑,洁净室净化工程技术,以低级别洁净室选用低性能过滤器、高级别洁净室选用高性能过滤器为原则。一般说来:100万级可选用高中效过滤器;低于1万级可选用亚高效或A类高效过滤器;1万~100级选用B类过滤器;100~1级选用C类过滤器。
这里每个洁净度级别似乎都有两类过滤器可供选择,选择高性能的还是低性能的,要视具体情况而定:当环境污染严重,或室内排风比例很大,或该洁净室特别重要,需要较大安全系数,洁净室净化要求,在这些或其中之一情况下,均要选择高一类过滤器;反之可选择较低性能过滤器。
对0.1μm粒子要求控制的洁净室,不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发,实际上要选择好过滤器还要全面考虑洁净室特性、过滤器特性和净化系统特性。
要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证:a.运输、安装过程不损坏过滤器;b.安装严密。
要做到第a,则要求施工安装人员训练有素,既要有安装净化系统方面的知识,又要具备较熟练的安装技能,否则将难以保证不损坏过滤器,这方面是有深刻教训的。
其次,安装严密性问题,主要取决于安装结构型式优劣,设计手册一般推荐:对于单个过滤器采用明装型式,这样即便发生渗漏,也不致漏到室内;采用成品高效送风口,严密性也比较容易得到保证。
对于多个过滤器的风口,近几年常采用液槽密封和负压密封。液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态,与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。实际上只要做到安装框架平整,过滤器端面与安装框架接触均匀,任何安装型式使过滤器达到安装严密性要求应该说是不难的。
我国设计规范[6]规定:不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(~5Pa),洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH2O(~l0Pa)。
该值似偏低,原因有三:
1.正压是表示洁净室抑制通过门窗缝隙污染室内空气的能力,或在短时间打开门窗时使渗入室内的污染物减少到至低限度的能力,青岛洁净室净化,正压大小表示抑制污染能力的强弱,当然不是正压越大越好(后面将谈到)。
2.正压所需的风量有限,5Pa正压与10Pa正压所需风量仅差约1次/h,何乐而不为呢?显然正压值低限取l0Pa更优越些。
3.美国联邦标准(FS209A~B)规定:当所有出入口关闭时,洁净室与任何相邻的低洁净度区域之间的至低正压差为0.05英寸水柱(12.5Pa),这数值已被许多国家采用。
对于一个洁净室来说,以上四个必要条件必须同时得到满足,才能保证洁净度达到要求并具备应有的抗污染干扰能力。