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在讲到清洁维护的重要性之前，我们先在认识一下洁净室中的四大污染来源：
1.洁净室中的工具设备在运转的过程中会向洁净室空间扩散粒子.
2.洁净室中的产品也会向洁净室空间扩散粒子.
3.洁净室中的设施，例如地面、墙面、天花板等，一刻不停地扩散着粒子.
4.洁净室中的人员是污染的主要来源，洁净室中的污染有80%都来自于人员散发的粒子.
2)水平单向流
只在首工作区达到100级洁净度，当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高，洁净车间，所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量，节约初投资，医疗洁净车间，但局部区域有涡流。
3)乱流型气流
孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置，洁净车间什么，无需技术夹层，造价低，有利于旧厂房改造，100级洁净车间，缺点是工作区风速较大，下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点，但洁净气流扩散缓慢，工作区气流较均匀;
不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时，也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下，扩散板易积尘。
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