不同级别无尘车间小压差为5Pa;无尘车间和准无尘车间之间小压差为10Pa;无尘车间和一般房间之间小压差为15Pa。中国《无尘车间设计规范》(GBJ 73—84)第5.2.1条规定“无尘车间必须维持一定的正压。不同等级的无尘车间以及无尘区与非无尘区之间的静压差,应不小于5Pa,无尘区与室外的静压差,不应小于10Pa”。新规范 GB 50073—2001有关压差的规定(6.22款)与上述规定一致。
材质要求设备、管道所选材料应根据装载、贮存或输送物料的理化性质和使用工况等因素来确定,使之满足工艺要求,不吸附、不污染介质,且施工、维修方便。
我们知道,洁净室可以通过送风系统达到自净的目的,但是通过循环风系统只能去除一部分污染,仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的,污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”,这种“接触”就会对产品造成污染,导致产品不良。 此时,对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染,已达到洁净室设计建造时预期的洁净度,但终还是为了保护我们的产品不受污染,提高产品的优率。因此,我们可以将洁净室清洁维护定义为:“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同(对洁净度而言)的表面,释放出所有不希望的污染物,并把它们收集起来清除掉。”