空气洁净度等级(N)
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。